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技術動態

通孔不良案例分析

一、異??讛嗝娼鹣嘤^察

圖片1.jpg

                                              異??讛嗝娼鹣嘤^察


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            左側孔銅厚度測量                                                                             右側孔銅厚度測量

  

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                             左側孔口放大觀察                                                                                       右側孔口放大觀察


說明:對異??走M行斷面金相觀測,發現孔壁兩側均有孔無銅現象,孔銅厚度從孔口一側到孔口另一側逐漸變薄,兩側孔破末端、孔環位置均有尖角腐蝕現象,說明孔內存在蝕刻液,將孔銅咬蝕掉了。


二、EDS分析

                            孔銅疑似異物位置1                                                                                     孔銅疑似異物位置2

圖片4.png

  

                                1-001異物                                                                                                         2-001異物

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                              1-002異物                                                                                                     2-002異物

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                                        1-003孔銅

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說明:
對異??走M行斷面SEM觀察,發現孔壁疑似有異物;對疑似異物進行EDS分析,發現存在“S”和“Ca”異常元素,疑似異物的氧含量比銅的位置明顯高,說明是銅的氧化物。


三、總結


綜上所述,推測圖形蝕刻前干膜有破損,蝕刻時蝕刻藥水灌入孔內,導致孔銅一端被咬蝕嚴重,出現孔破現象,從而導致了此次的通孔不良。

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