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一、異??讛嗝娼鹣嘤^察
異??讛嗝娼鹣嘤^察
左側孔銅厚度測量 右側孔銅厚度測量
左側孔口放大觀察 右側孔口放大觀察
說明:對異??走M行斷面金相觀測,發現孔壁兩側均有孔無銅現象,孔銅厚度從孔口一側到孔口另一側逐漸變薄,兩側孔破末端、孔環位置均有尖角腐蝕現象,說明孔內存在蝕刻液,將孔銅咬蝕掉了。
二、EDS分析
孔銅疑似異物位置1 孔銅疑似異物位置2
1-001異物 2-001異物
1-002異物 2-002異物
1-003孔銅
說明:對異??走M行斷面SEM觀察,發現孔壁疑似有異物;對疑似異物進行EDS分析,發現存在“S”和“Ca”異常元素,疑似異物的氧含量比銅的位置明顯高,說明是銅的氧化物。
三、總結
綜上所述,推測圖形蝕刻前干膜有破損,蝕刻時蝕刻藥水灌入孔內,導致孔銅一端被咬蝕嚴重,出現孔破現象,從而導致了此次的通孔不良。
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