通過掃描電鏡打出的能譜數據怎么才能看得懂?該如何去分析呢?

能譜分析報告單一般如上圖，我用彩框進行了一下分區。以下：

1. 元素種類

2. 元素序號

3. 非歸一化質量分數(元素質量分數之和不是100%)

4. 歸一化質量分數(元素質量分數之和換算成百分比)

5. 原子比，這個一般用來判定成分，如我圖中氧鎂炭比例為3:1:1，大致推斷出該未知粉末主要成分為碳酸鎂。

6. 錯誤率/誤差率

因為EDS不能檢測H, He, Li, Be等輕元素，且微區分析的不均勻性和不確定性，因此不建議將能譜結果作為元素定量依據。