最基本的試料作成工序如下所示：

1、由于裁切出一部分試料，將樣品全體用樹脂包埋；

2、樹脂硬化后，從樣品上切下需要的試料部位；

3、裁切后的試料，按照研磨面的方向擺放整齊，再次用樹脂包埋；

4、樹脂硬化后，通過手動研磨，替換使用由粗到細的型號研磨紙，削出希望的部位；

5、使用自動研磨機將研磨材料的砥粒研磨得更加精細使研磨表面呈現鏡面狀態。

此工法由于在⑤使用了自動研磨機，所以試料尺寸需要能夠包含φ25 mm、φ30 mm及φ40 mm的圓柱中的任意一個尺寸，而且，由于自動研磨機可以一次性處理同一條件的多個試料，因此可以在短時間內高精度地完成研磨。

上述圓柱無法包含試料時，包括完成工序在內全部進行手動研磨，與使用自動研磨機相比，需要更長的加工時間。另外，如果是單個試料，上述圓柱可以包含的情況下，不需要對試料全體進行樹脂包埋，可以從工序③開始，由于省略了樹脂包埋?硬化處理這兩道工序，因此可以縮短加工時間，然后，對于荷重會影響試料表面研磨工序的、用于表面分析的試料（例如EBSD用、脆弱的材料），在上述①～⑤的工序中，在手動研磨工序中使用的研磨紙的型號，需要在前面階段使用細的型號。